多层次立体研发体制创新
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目前,全球只有兩家廠商有能力開發磁浮主軸,瑞士一家,跟项目方這家。
這款40000轉,大功率的瑞士目前沒有生產。
可以用在晶圓研磨及精微加工。
晶圓研磨效率是日本Disco 的五倍。
售價台幣一組含控制器約600萬台幣。
可鑽0.02毫米的孔。材質:不銹鋼。